国产离子注入设备完成28纳米工艺全掩盖

  科技日报北京6月29日电 （记者付毅飞）记者29日从我国电子科技集团得悉，该集团旗下中电科电子配备集团有限公司（以下简称电科配备）已完成离子注入配备28纳米工艺制程全掩盖，有力保证我国集成电路制作职业在老练制程范畴的工业安全。

  据悉，离子注入机是芯片制作中的要害配备，28纳米则是当时芯片使用范畴中掩盖面最广的老练制程。

  电科配备接连打破光路、操控、软件等要害模块的核心技术，构成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格式，完成了28纳米工艺制程全掩盖，实在保证我国“芯”的出产制作。

  据了解，作为国内最早从事离子注入设备研发及工业化的企业，电科配备已具有从产品设计到量产使用的完好研发系统，产品包括逻辑、存储、功率器材、传感器等工艺器材，百台设备广泛使用于国内各大集成电路先进产线万片，有力提高我国工业链供应链耐性和安全水平。